Seppo, без толку теперь. Были не правильно запроограммированы фьюзы. Вы отключили режим последоватьельного программирования. Теперь только PP/HV-программатор может микроконтроллер "оживить".
Фьюзы всегда надо сначала считывать, смотреть какой режим у оболчки программатора - прямой или инверсный, выставлять только нужные и программировать. Для последовательного программатора нельзя менять SPIEN, RSTDISBL и ещё некоторые фьюзы.
Древовидный вид